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从1904年意大利在Larderello地热田利用干蒸汽发电试验成功，成为世界上从事地热发电早的国家，并于1913年建成*台工业用的250kW地热发电机组，成为地热发电商业化的开端。到2000年，已有21个国家从事地热发电工作，总装机容量达7974.06MW，年发电量为49261.45GWh。
回顾100年来世界地热发电的历史，我们看到，早期地热发电进展极为缓慢，这可能是由于资源和技术方面的原因所造成。20世纪60年代以后，许多有地热资源的国家开始假造地热电站，因此有了较快发展。
与此同时，用以发电的地热资源，除干蒸汽外，还有地热湿气和地热水也用以发电。由此也产生了与之相适应的各种地热发电的能量转换系统，以便有效地利用各种地热资源。由于地热发电的主机是汽轮机，所用工质是蒸汽，因此用以发电的各种地热流体后必须以干蒸汽状态进入汽轮机，以进行热工转换。
从这个意义上讲，在各种能量转化系统中，地热干蒸汽发电是简单的发电系统（包括背压式及凝汽式两种）；对地热湿蒸汽发电，基本的能量转换系统有：从湿蒸汽中将汽水分离，然后用分离蒸汽发电；还有一种是把分离出来的地热水也用以发电，方法是采用闪蒸系统，即将热水在闪蒸器中降压闪蒸产生部分低压蒸汽，然后用以发电。地热水发电还有另一种能量转换系统，即利用地热水对低沸点工质加热，使之变成蒸汽，然后利用低沸点工质蒸汽来发电，即所谓“双工质循环地热发电系统”。
上述这些地热发电的能量转换系统，还可根据地热资源的不同情况，组成各种新的系统，而且它们将随着地热发电技术的发展而发展。在目前的地热发电技术中，应用较为广泛的是扩容式蒸汽发电技术，其系统简单，地热参数要求低。在低温地热资源的开发利用过程中，双工质循环和卡琳娜循环技术具有广阔的发展前景。
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